1）尘埃粒子zui高允许数（每立方米）：

大或等于0.5微米的粒子数不能超出3500000个，大或等于5微米的粒子数不能超出20000个；

2）微生物zui高允许数：

浮游菌数不能超出500个每立方米；沉降菌数不能超出10个每培养皿。

3）压差：

相同洁净度等级的洁净车间压差保持一致，对于不同洁净等级的相邻洁净车间之间压差要≥5Pa，洁净车间与非洁净车间之间要≥10Pa。

4）温度、湿度：

10万级无尘室对溫度、湿度无特殊要求时，以穿着洁净服不产生舒适感为宜，温度一般控制在秋冬季20~22℃；春夏季24~26℃；波动±2℃。秋冬季洁净车间空气湿度控制在30-50%，春夏季洁净车间空气湿度控制在50-70%。

5）配电：

洁净室（区）的主要生产用地一般照度值宜≥300Lx；辅助工作室、人员洁净和物料洁净用室、气闸室、过道等的照度值宜为200~300Lx。

6）噪声控制：

一、动态检测时，万级无尘室内的噪音级不得超出70分贝A。

二、静态检测时，万级乱流无尘室的噪音级不能超出60分贝A。

7）送风方式：

气流组织10万级无尘室主要采用的送风方式有以下三种：

1、局部孔板顶棚送风；

2、带扩散板高效空气过滤器顶棚送风；

3、上侧墙送风等三种送风方式。

8）回风方式：

10万级无尘室主要采用的回风方式主要有：

1、单侧墙下部布置回风口；

2、当采用过道回风时，在过道内均匀布置回风口或在过道端部集中设置回风口。

9）风口风速：

送风口风速米/秒：

1、孔板孔口3~5；

2、侧送风口：

（1）贴附射流2~5；

（2）非贴附射流同侧墙下部回风1.5~2.5，对侧墙下部回风1.0~1.5。

回风口风速（米/秒）：

1、无尘室回风口不超2；

2、过道内回风口不超4。