洁净室内之污染路来源，经测试分析成果，作业人员占约80%。试验数据显示，作业人员进出洁净室时尘土有明显增加，有人动作时，洁净度立刻劣化，可见洁净度劣化之原因人是主要因素。 

洁净室的污染源可分为外污染及内污染源。外污染源主要包含空调送风、空隙进入、建筑物、工作服、风管资料以及一般性气体如N2、O2、Air、给水、溶剂等；而内污染源则包含制程设备、工作人员、东西、加工制程、隔间资料、工作桌、包装资料等。 

对硅芯片而言，微尘粒子之附着将形成集成电路线路的变形或短路，使芯片失掉运作功用，因此微污染源已成为洁净室办理的重要环节。

微污染防控，其基本原则有四：    

1、外部尘土侵入之避免洁净室恰当之正压保持（>0.5mmAq），做好施工工程之不漏气，人员设备、原资料搬入洁净室前先做好清洁擦洗等防尘动作，空气过滤器恰当的办理和设置。    

2、室内发尘之避免隔间板、地板等洁净室资料的恰当选用、制程设备的发尘、生产自动化及人员不聚集、动作放松、洁净衣的办理、使用洁净室容器等。    

3、室内发尘之不积留墙面体应光滑无死角、洁净室需定期保养和打扫、制程设备四周应留有空间。   

4、发生尘土之排除换气次数应足够，恰当的空间安置以及污染源接排气和空调的气流速度须恰当。人、物入室的办理问题、实际的作业条件和工程办理相关之问题、室内之空调及打扫联系之问题。