1．送风量与排风量：假如是紊流洁净室，那么要丈量其送风量与排风量。若为单向流洁净室，则要丈量其风速。

2．各区之间的气流控制：为证明各区之间气流运动方向正确，也是从洁净区向洁净度差的区域流动，有必要检测：（1）各区间的压差正确；（2）门口处或墙、地板等处的开口处气流运动方向正确，即从洁净区向洁净程度差的区域流动。

3．过滤器检漏：对高效过滤器及其外框要进行查验，以确保悬浮污染物不会穿过：（1）损坏了的过滤器；（2）过滤器与其外框间的缝隙；（3）过滤器装置的其他部位而侵入室内。

4．隔离检漏：这项测验是为了证明悬浮污染物不穿过建筑材料侵入洁净室。

5．室内气流控制：气流控制测验的类型要依洁净室的气流模式——是紊流还是单向流而定。若洁净室气流为紊流，则有必要验明室内没有气流运转不足的区域。若是单向流洁净室，则有必要验明整个室内的风速和风向是契合规划要求的。

6．悬浮粒子浓度和微生物浓度：假如上述这些测验满足要求，则然后对粒子浓度和微生物浓度（需求时）进行丈量，以便验明其契合洁净室规划的技术条件。

7．其他测验：除了上述这些污染控制方面的测验以外,有时还有必要进行下述一项或若干项测验：

温度—相对湿度—室内加热与冷却容量—噪声值—光照度—振动值